【西安交大主导研制的纳米台阶样板获批国家一级标准物质】日前，国家市场监督管理总局批准了@西安交通大学 主导研制的四种规格纳米台阶高度标准物质为一级标准物质（编号：GBW13975、GBW13976、GBW13977、GBW13978）。这是目前国内尺度最小的纳米台阶标准物质样，填补了国内亚50nm台阶高度标准物质的空白，实现了替代进口，提高了我国在纳米几何量计量领域的核心竞争力和整体技术水平。可实现对台阶仪、原子力显微镜、轮廓仪等测量仪器的校准，并应用于微电子集成电路与国防军工、先进制造、生物医药等重点产业。
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