芯科技消息（文/罗伊）晶圆代工厂台积电31日发布12月企业社会责任（CSR）电子报、公布三项佳绩，获得可持续水管理标准（AWS）白金认证、首创业界晶圆清洗机台热水循环系统及转制氨氮废水为有价工业级原料。其中，台积电成为全球第1家获AWS认证半导体企业，并缔造史上最高分纪录。
台积电表示，公司实践绿色制造、持续优化制程能源使用效率，引进全球唯一可持续水管理标准（AWS Standard）。2019年初以晶圆6厂及晶圆14厂第5/6/7期厂房为初期示范厂区，12月获AWS正式授证，成为全球首家AWS白金级认证半导体企业。值得注意的是，台积电获114分评价结果，不仅超越白金级的80分认证门槛，更缔创史上最高分纪录。
此外，2019年领先业界打造“晶圆清洗机台热水循环系统”，通过回收未经使用的热水循环利用机制，成功减少80%热水浪费，截至11月已完成29组热水设备改良，共省下1400万度电。
针对供应晶圆清洗机台热水的设备，台积电解释，以往为避免管线内形成死水、造成杂质污染，在机台未运作期间，仍须不间断输出热水以确保管线通畅。而为有效控管热水设备用电量，公司营运技术委员会与机台承揽商共同研发改良方案，利用“热水循环”概念，在原供水管路加装一道储热水槽，连接机台端未经使用过的热水排放管路，有效回收未经使用过热水。
据了解，目前改良后热水设备已经台积电研发组织验证，并优先在晶圆18厂使用，未来将由运营技术委员会全面推广至晶圆12厂、晶圆14厂及晶圆15厂等12寸晶圆厂区。台积电分析，每台改良后温水设备依制程使用条件不同，可以节省约30%耗能，预计2025年前将可省电1亿度，持续迈向台积电2025年累积节电量28亿度的永续目标。
至于废弃物管理，台积电表示，随产能及研发规模持续扩充，公司积极采用“废弃物产出最小化，资源循环使用最大化”方针。针对废硫酸及氨氮废水，继2015年成功转制为可委外再利用的硫酸铵废液；台积电再次领先业界、进一步导入机械式蒸汽再压缩（MVR）技术，将硫酸铵废液“点石成金”，转制为有价的工业级硫酸铵结晶产品。
台积电指出，技术导入迄今届1年，截至11月，已减少原先需委外处理的废硫酸约9.4万吨、硫酸铵废液约1200吨，创造约1.4亿元新台币效益（含减少委外再利用费用及再生产品销售费用）；台积电预期，随MVR技术持续导入15厂以外厂区，预计将于2022年达100%循环再生（含2022年前完成兴建并启动生产的新建晶圆厂产量），再创减废新里程碑。（校对/Vivian）
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